Het consortiumproject METEORIET (MEms TEst voOR hoog-volume Innovatieve Elektronische Toepassingen) ontwikkelt de komende jaren een nieuwe methode voor het testen van zogeheten Micro-Electro Mechanical Systems Chips (MEMS-chips). De samenwerking van bedrijven en kennisinstellingen ontvangt daarvoor bijna 1 miljoen euro subsidie van Operationeel Programma Oost-Nederland (OP-Oost). De partijen verwachten met het te ontwikkelen MEMS testinstrument een aantrekkelijke groeimarkt aan te boren.
Op de foto afgebeeld: Doel: integratie van complexe MEMS-laboratoriumopstellingen in een industrieel testinstrument.
MEMS-chips verschillen van elektronische chips in het feit dat ze geïntegreerd zijn met een mechanisch, fluïdisch of akoestisch element. Met dit soort chips kan men bijvoorbeeld bewegingen meten, geluid genereren en manipuleren (zoals in gehoorapparaten) en vloeistoffen analyseren. Net als 'gewone' elektronische chips moeten ook MEMS-chips worden getest voor ze in hun uiteindelijke behuizing worden gemonteerd. Dit testen is echter complexer voor MEMS dan voor gewone chips, hierdoor worden MEMS vaak pas getest als ze al afgemonteerd zijn. Daardoor komt het dikwijls voor dat defecte MEMS-chips worden ingebouwd in hun behuizing waarna deze modules dan moeten worden weggegooid. Tevens is er voor MEMS testen vaak dure en speciale 'stimulatieapparatuur' nodig.
Verspilling tegengaan
Om deze verspilling tegen te gaan en het op een eenvoudiger manier te testen heeft Salland engineering (Zwolle) een consortium gevormd met Bronkhorst High-Tech (Ruurlo), Universiteit Twente (Enschede), Hogeschool Saxion (Enschede) en MASER Engineering (Enschede). De projectpartners gaan samenwerken aan de ontwikkeling van een effectieve methode voor het testen van deze MEMS-chips en het in model brengen van deze tests. Hierdoor kunnen MEMS-producten goedkoper in de markt worden gezet en dus meer producten beschikbaar komen die van deze veelzijdige chips gebruik maken. Door deze testprocedure te ontwikkelen zal (Oost-)Nederland haar positie in de chiptestwereld verder versterken.
Consortium
Oost NL hielp bij het vinden van projectpartners voor de vorming van het consortium. Ivan Stojanovic, projectmanager Tech bij Oost NL: "Door Salland Engineering attent te maken op de mogelijkheden die de OP-Oost regeling biedt, heeft Salland snel geschakeld en een relevant probleem in kaart gebracht met de projectpartners. Het project dient ook als basis voor het testen van nog complexere chips en sensoren, zoals geïntegreerde fotonische chips. Het is fantastisch om te zien hoe het consortium elkaar heeft gevonden en de Oost-Nederlandse regio bij elkaar brengt om te laten zien wat ze samen kunnen realiseren."
Katalysator ecosysteem
Paul van Ulsen, directeur/eigenaar van Salland Engineering "Door het ontwikkelen van dit unieke MEMS-testinstrument kunnen we op industriële schaal geautomatiseerd MEMS testen. Het is een fantastische katalysator voor het intensiveren van het High-Tech ecosysteem in de regio Oost-Nederland. Hierdoor kunnen we onze regio positioneren als de MEMS Test Valley van de wereld." Inmiddels is er internationaal al belangstelling voor de te ontwikkelen technologie.
Joost Lötters, Science Officer bij Bronkhorst High-Tech BV: "Oost-Nederland speelt een wereldwijd vooraanstaande rol in onderzoek, ontwikkeling, productie en verkoop van MEMS gebaseerde producten. Het op industriële schaal kunnen testen van MEMS-devices maakt het mogelijk dat de volledige keten intact en behouden blijft. Hierdoor kan Bronkhorst High-Tech de toenemende aantallen wereldwijd verkochte MEMS gebaseerde flow meters in Oost-Nederland blijven ontwikkelen en produceren, wat flinke investeringen en hoogwaardige werkgelegenheid in de regio oplevert."
Remco Wiegerink, associate professor Universiteit Twente: "Wij vinden het erg belangrijk dat de resultaten van ons onderzoek ook daadwerkelijk gebruikt worden en we zijn dan ook blij dat we met onze jarenlange MEMS-ervaring aan het METEORIET-project kunnen bijdragen."
Nieuwe arbeidsplaatsen
De partijen verwachten met het te ontwikkelen MEMS testinstrument een aantrekkelijke groeimarkt aan te boren, waarbij de komende 5 tot 10 jaar ruim 45 nieuwe arbeidsplaatsen kunnen worden gecreëerd. De totale subsidiabele kosten voor project METEORIET bedragen € 2.246.891,26 waarover de totale subsidie € 932.222,26 bedraagt. Het project is al van start gegaan en zal in medio 2022 eindigen.
